Products
OLED System
OLED TFE In line System
개요
- OEC Series는 H2O와 O2의 산화 방지를 위해 플라즈마 처리된 cover-glass와 유기-재료의 코팅 기판 캡슐에 의해 OLED의 생산 공정에 사용하는 장비
특징
- - 구성 : Octagonal Cluster Chamber (including vaccum transfer robot), Hexagonal Glove Box
(including ATM transfer robot), Plasma treating machine, Getter attacher, Seal dispenser, UV assembler, and Return Conveyor
- 가스 정화기를 사용하여 챔버 내부의 H2O와 O2 조절
- 이중 양산모드 : 액화 밀폐제를 사용하는 UV 경화 모드와 Ffrit 밀폐제를 사용하는 레이저 sealing 모드
- 진공 부품 : Dry pump + Booster pump
사양
- - 기판 크기 : 730mm X 460mm
- Tact Time : 3.5min
- Cover Material : Glass
- No. of Substrate Loading : 48pcs. (24pcs. X 2 Stocker)
- Process Circumstance : H2O < 1ppm, O2 < 10ppm
- Encapsulation Accuracy : ± 7㎛ 이내
- UV 균일도 : ± 5% 이내 (based on substrate area)
- Glass 이송 방법 : Robot and Magnetic Roller