Products
Sputtering System
Roll to Roll Sputter
개요
- 유연한 필름에 증착하기 위해 Roll to Roll 스퍼터가 널리 사용됩니다.
롤투롤 스퍼터의 적용분야는 기판 종류와 제품에 따라 다양합니다.
특징
- - 풀기 단위
- 되감기 장치
- 증착 장치 (Cathode system)
- 메인 드럼 유닛
- 롤 유닛
- 제어 시스템
Maintenance / 측정 장치 (옵션)
사양
- 필름 폭 : ~ 1,500mm
- 진공 : Ultimate 2.0E-6Torr (12 시간)
- 대상 재료 : 금속, 산화물
- 전원 : DC, Pulsed DC, MF, RF 전원 두께 균일 성 : ± 5% 이내
- 접착력 : 100% (ASTM D3359 테스트)