Products
Sputtering System
In-line Vetical Dynamic Sputter (SuVas-VD Series)
개요
- LSF Series는 Color Filter 제조용으로 대면적 기판에 산화물 및 금속물질을 진공 상태에서 증착하는 장비
특징
- - Vertical In-line Type
- 최적의 설계를 통해 장비 경량화 및 Foot Print를 최소화함
- 비 접촉 반송 시스템을 통해 Chamber 내부의 Particle을 최소화함
- Multi Layer 형성이 가능함
- Cathode부의 Magnet을 이동시켜 박막 품질 개선과 Target 사용효율을 극대화함
사양
- - 기판 대응 크기 : 8세대 Glass 이상 - Tact Time : 35sec 이내(C/F dynamic Type)- 증착 물질 : ITO, SIO, TIO, ZnO, CrOx, AZO, GZO, IGZO- 사용 전원 : DC, Pulsed DC or MF- 두께 균일도 : ± 5% 이하 (dynamic Type)- 면 저항 : ± 12% 이내 - Heating 온도 : 250°C (기판온도 기준)- Heating 온도 균일도 : 15°C 이내