Products
OLED System
OLED Vacuum Oven System
개요
- OLED 패널의 결함과 수명을 단축시키는 잔류용매 또는 수증기와 같은 불순물을 제거하기 위한 사전 증발 공정용 진공 오븐 시스템.
특징
- - 구성 : 로딩 챔버, Transfer Module 챔버, Vacuum Oven, Cooling 챔버
- 히터 : 플레이트형 히터 미세 온도 튜닝 활성화.
사양
- 적용 가능한 기판 크기 : 370mm x 470mm ~ 2940mm x 3370mm
- 열기: 최대 250℃, 균일도 ≤ ±5%
- 냉각 : 10℃~ 70℃
- 진공 레벨 : Ultimate 5.0E-7Torr (12시간 이내에)
- 치료 시간 : 120초 ~ 1000초