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SSC Series는 태양전지 제조용 Cluster Type Sputter로서 대면적 기판에 산화물, Metal Precursor, TCO Layer 등..
SSI Series는 태양전지 제조용 Inline Type Sputter로서 대면적 기판에 산화물, Metal Precursor, TCO Layer 등을..
본 장비는 Sputtering으로 증착된 CIG Precursor를 고온 환경에서 Sulfur와 Selenium을 공급하여 결정질 CIGSSe 광흡수층으..
AEON™ Atomic layer deposition (ALD) system은 조밀하고 균일한 아연산황화물 아연 (산소, 황) 버퍼 층을 증착하기 위한 ..
SuVAS™ H-Series는 Back Electrode, CIG Precursor 그리고 TCO (Transparent Conductive Oxide)..