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회로 기판에 박막을 코팅하기 위해 에칭과 증착을 연속 수행하는 건식 공정 장비
반도체 패키징용 유리 기판에 미세 홀을 정밀하게 가공하는 레이저 시스템 베셀 광학계를 사용하여 균일하고 긴 초점 영역을 형성하여 가공
