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Solar
Vertical In-Line System
개요
- SSI Series는 태양전지 제조용 Inline Type Sputter로서 대면적 기판에 산화물, Metal Precursor, TCO Layer 등을 진공 상태에서 증착하는 장비
특징
- - Vertical in-line type
- 최적의 설계를 통해 장비 경량화 및 Foot Print를 최소화함
- Multi Layer 형성이 가능함
- Cathode부의 Magnet를 Moving 시켜 박막 품질 개선과 Target 사용효율을 극대화함
- 적용가능 type : Vertical in-line type / horizontal cluster type / horizontal in-line type
사양
- 기판대응크기 : 5세대 Glass 이상
- Tact Time : 60sec 이하
- 증착물질 : SiO2, Al2O3, CIG Precursor, AZO, GZO, Al, Ag
- 사용전원 : DC, Pulsed DC or MF
- Heating 온도 : 250도(기판온도 기준)
- Heating 온도 균일도 : 15도 이내