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Solar
Cluster System (Horizontal Type)
개요
- SSC Series는 태양전지 제조용 Cluster Type Sputter로서 대면적 기판에 산화물, Metal Precursor, TCO Layer 등을 진공 상태에서 증착하는 장비
특징
- - Horizontal cluster type
- 비 접촉 반송 시스템을 통해 Chamber 내부의 Particle를 최소화함
- Multi Layer 형성이 가능함
- Cathode부의 Magnet를 Moving 시켜 박막 품질 개선과 Target 사용효율을 극대화함
사양
- 기판대응크기 : 5세대 Glass 이상
- Tact Time : 80sec 이내 - 증착물질 : SiO2, Al2O3, CIG Precursor, AZO, GZO, Al, Ag
- 사용전원 : DC, Pulsed DC
- Heating 온도 : 150도(기판온도 기준)
- Heating 온도 균일도 : 15도 이내