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Solar
 

Solar Cell Sputter(SSC)

개요

  • SSC Series는 박막형 태양전지 제조용으로 대면적 기판에 산화물 및 금속물질을 진공상태에서 증착하는 장비

특징

  • - Horizontal cluster type
    - 비 접촉 반송 시스템을 통해 Chamber 내부의 Particle를 최소화함
    - Multi Layer 형성이 가능함
    - Cathode부의 Magnet를 Moving 시켜 박막 품질 개선과 Target 사용효율을 극대화함

사양

  • - 기판대응크기 : 5세대 Glass 이상 

    - Tact Time : 80sec 이내 - 증착물질 : AZO, GZO, AL, AG

    - 사용전원 : DC, Pulsed DC

    - Heating 온도 : 150도(기판온도 기준)

    - Heating 온도 균일도 : 15도 이내