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Carrier에 기판을 결합/분리하고 공정을 위해 증착 장비에 투입/배출 하는 반송시스템
LST Series는 Thin Film Transistor 제조용으로 대면적 기판에 산화물 및 금속물질을 진공 상태에서 증착하는 장비
LSF Series는 Color Filter 제조용으로 대면적 기판에 산화물 및 금속물질을 진공 상태에서 증착하는 장비
SuVas-HD Series는 중간 크기 기판에 산화물 또는 금속 재료를 스퍼터링하여 Solar 또는 Architecture 패널 생산의 전극층 공정에 ..
SuVas-CV 시리즈는 중간 크기 기판에 산화물 또는 금속 물질을 스퍼터링하여 LCD 또는 OLED 패널 생산의 전극층 공정에 사용됩니다.
유연한 필름에 증착하기 위해 Roll to Roll 스퍼터가 널리 사용됩니다. 롤투롤 스퍼터의 적용분야는 기판 종류와 제품에 따라 다양합니다.
