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PRODUCT

Sputtering System
OLED System
Solar
Module System
AMHS
Converting Machine

Sputtering System

Loader System

Carrier에 기판을 결합/분리하고 공정을 위해 증착 장비에 투입/배출 하는 반송시스템
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Sputtering System

Roll to Roll Sputter

유연한 필름에 증착하기 위해 Roll to Roll 스퍼터가 널리 사용됩니다. 롤투롤 스퍼터의 적용분야는 기판 종류와 제품에 따라 다양합니다.
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Sputtering System

Vertical Cluster Sputter (SuVas-CV Series)

SuVas-CV 시리즈는 중간 크기 기판에 산화물 또는 금속 물질을 스퍼터링하여 LCD 또는 OLED 패널 생산의 전극층 공정에 사용됩니다.
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Sputtering System

In-line Horizontal Sputter (SuVas-HD Series)

SuVas-HD Series는 중간 크기 기판에 산화물 또는 금속 재료를 스퍼터링하여 Solar 또는 Architecture 패널 생산의 전극층 공정에 ..
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OLED System

OLED Encapsulation System

OEC Series는 H2O와 O2의 산화 방지를 위해 플라즈마 처리된 cover-glass와 유기-재료의 코팅 기판 캡슐에 의해 OLED의 생산 공정에..
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OLED System

OLED Smart Tray System

스마트 트레이는 증발기의 선형 소스를 위해 유리 표면에 단계별 증착을 수행하여 각 소스의 성능을 검사하고 평가합니다. 스마트 트레이에는 전원 및 제어..
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OLED System

OLED P-Aging System

증발 과정에서 다양한 결함과 이물질이 발생하여 불량 픽셀이 발생하고 패널 수명이 단축됩니다. P- 에이징 모듈은 전류를 공급하여 이러한 결함과 잔해를..
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OLED System

OLED Vacuum Transfer System

본 system은 기존의 point 증착원이 구성된 유기물 증착기가 아닌 Linear 증착원을 통해 대면적 Glass에 OLED 유기물을 증착 할 수 있..
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Solar

Atomic Layer Deposition (ALD) System

AEON™ Atomic layer deposition (ALD) system은 조밀하고 균일한 아연산황화물 아연 (산소, 황) 버퍼 층을 증착하기 위한 ..
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Solar

Furnace System

본 장비는 Sputtering으로 증착된 CIG Precursor를 고온 환경에서 Sulfur와 Selenium을 공급하여 결정질 CIGSSe 광흡수층으..
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Solar

Horizontal In-Line System

SuVAS™ H-Series는 Back Electrode, CIG Precursor 그리고 TCO (Transparent Conductive Oxide)..
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Solar

Cluster System (Horizontal Type)

SSC Series는 태양전지 제조용 Cluster Type Sputter로서 대면적 기판에 산화물, Metal Precursor, TCO Layer 등..
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Module System

Inline Scribe-Break System

SIS – 7300는 특정 셀 크기에 액정 패널을 분리하는 데 사용
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Module System

POL Attacher

LPA – 4700은 Roller를 이용해 세척된 LCD 패널에서 Polarizer를 부착하는 데 사용 이 장비는 Vision aligner와 Pola..
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Module System

Back-film Attacher

OLED Module 공정 설비로서, Flexible Glass를 보호하기 위해 하부에 Film(Back Plate)을 Lamination하는 설비
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Module System

Bending Machine

OLED Module 공정 설비로서, Flexible Glass의 PAD/COF/FPC를 후면으로 Bending 후 부착하는 설비
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AMHS

OHCV - Over Head Conveyor

OHCV-1500은 디스플레이 제조 전/후공정의 Glass 및 Panel을 Casette 단위로 이송하는 장치로써, Stocker 상호간 Loading ..
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AMHS

OHTA - Over Head Transport Arm

OHTA-200은 디스플레이 제조 후공정의 Panel을 Cassette 단위로 이송하는 장치로써, 공정간 Port부에 Loading 및 이송하는데 적용
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AMHS

Ceiling Transfer(Crane)

CRN-5000은 디스플레이 제조 전공정 장비의 보수 및 수리를 위해 천정에 장착되는 장치로써, 고하중 Part (Robot, Targer, Cathod..
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AMHS

Stocker

STK-1500은 디스플레이 제조 전/후 공정의 Glass 및 Panel을 Cassette단위로 이송하는 장치로써, Stocker System에 보관/적..
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Converting Machine

Laminating Machine

확산필름, 편광필름, 프리즘 필름, Tape 등 고온 Heating Laminating 기술
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Converting Machine

Slitter-Rewinder

초박막 필름의 Wave Cutting 기술 정밀 Tension Control 기술 Film 검사 및 Cutting 기술 초고속 Slitting 기..
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Converting Machine

Other Machines

STRETCHING MACHINE - AMS TYPE ITO FILM SCRIBING M/C - ALP TYPE FINAL SIZER M/C
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Converting Machine

Coating Machine

확산필름, 편광필름, 프리즘 필름, Tape 등 Coating Unit 설계 및 제작
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